MEMS SWITCH, METHOD OF MANUFACTURING A MEMS SWITCH AND DEVICE

MEMS SWITCH, METHOD OF MANUFACTURING A MEMS SWITCH AND DEVICE

MEMS-Schalter (1) mit einem Biegeelement (150) und einem an dem Biegeelement angeordneten Schaltkontakt (120) sowie mit einem Gegenkontakt (250), wobei vom Biegeelement (150) eine Anlagestellung einnehmbar ist, in welcher der Schaltkontakt (120) am Gegenkontakt (250) in Anlage ist, wobei das Biegeel...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Raab, Oliver, Schwarz, Markus
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SWITCHES
ELECTRICITY
EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
RELAYS
SELECTORS
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creator Raab, Oliver
Schwarz, Markus
description MEMS-Schalter (1) mit einem Biegeelement (150) und einem an dem Biegeelement angeordneten Schaltkontakt (120) sowie mit einem Gegenkontakt (250), wobei vom Biegeelement (150) eine Anlagestellung einnehmbar ist, in welcher der Schaltkontakt (120) am Gegenkontakt (250) in Anlage ist, wobei das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt ist.Bei dem Verfahren zur Herstellung eines solchen MEMS-Schalters (1, 300) wird das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt.
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