MEMS SWITCH, METHOD OF MANUFACTURING A MEMS SWITCH AND DEVICE
MEMS-Schalter (1) mit einem Biegeelement (150) und einem an dem Biegeelement angeordneten Schaltkontakt (120) sowie mit einem Gegenkontakt (250), wobei vom Biegeelement (150) eine Anlagestellung einnehmbar ist, in welcher der Schaltkontakt (120) am Gegenkontakt (250) in Anlage ist, wobei das Biegeel...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre ; ger |
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| Zusammenfassung: | MEMS-Schalter (1) mit einem Biegeelement (150) und einem an dem Biegeelement angeordneten Schaltkontakt (120) sowie mit einem Gegenkontakt (250), wobei vom Biegeelement (150) eine Anlagestellung einnehmbar ist, in welcher der Schaltkontakt (120) am Gegenkontakt (250) in Anlage ist, wobei das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt ist.Bei dem Verfahren zur Herstellung eines solchen MEMS-Schalters (1, 300) wird das Biegeelement (150) in die Anlagestellung vorgespannt. |
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