MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in-plane entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Das Substrat weist ein Substratfederelement benachbart zu einem Bereich aufweist an dem der elektromechanische Wandler mit dem Substrat verbunden ist. A MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid includes a substrate including a cavity, and an electromechanical transducer connected to the substrate in the cavity and including an element deformable along a lateral movement direction, wherein a deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.