MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID

Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GAUDET, Matthieu, KAISER, Bert, SCHIMMANZ, Klaus, CONRAD, Holger, LANGA, Sergiu, SCHENK, Harald
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TRANSPORTING
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