MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID

Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in-plane entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Der elektromechanische Wandler ist mit dem Substrat kraft- oder formschlüssig verbunden, oder ist bei dem der elektromechanische Wandler mit dem Substrat einstückig gebildet. A MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid includes a substrate including a cavity, and an electromechanical transducer connected to the substrate in the cavity and including an element deformable along a lateral movement direction, wherein a deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.