MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GAUDET, Matthieu, KAISER, Bert, SCHIMMANZ, Klaus, CONRAD, Holger, LANGA, Sergiu, SCHENK, Harald
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	ACTUATING-FLOATS BLASTING COCKS DEAF-AID SETS DEVICES FOR VENTING OR AERATING ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING LIGHTING LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MECHANICAL ENGINEERING MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TAPS THERMAL INSULATION IN GENERAL TRANSPORTING VALVES WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist; und einen elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in-plane entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Die Kavität weist eine Öffnung in dem Substrat auf, wobei in einem Bereich der Öffnung eine Ventilstruktur angeordnet ist, die ausgebildet ist, um einen Durchfluss des Volumenstroms durch die Öffnung entlang zumindest einer Richtung aus der Kavität und/oder in die Kavität zu reduzieren. A MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid includes a substrate including a cavity, and an electromechanical transducer connected to the substrate in the cavity and including an element deformable along a lateral movement direction, wherein a deformation of the deformable element along the lateral movement direction and the volume flow of the fluid are causally related.