STORAGE SHELF

A storage shelf (1) including a body frame (10) and a shelf plate (20) attached to the body frame (10) with an elastic body (9) interposed therebetween, the storage shelf (1) configured to store therein a FOUP containing a contained object, includes: a feed nozzle (31) provided on the shelf plate (2...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ONISHI, Shinji, TSUBAKI, Tatsuo
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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