STORAGE SHELF
A storage shelf (1) including a body frame (10) and a shelf plate (20) attached to the body frame (10) with an elastic body (9) interposed therebetween, the storage shelf (1) configured to store therein a FOUP containing a contained object, includes: a feed nozzle (31) provided on the shelf plate (2...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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