SAMPLE TRANSFER WITH EASY TRACKING OF TARGET AREA

Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen einer Oberfläche einer Probe (107), wobei die Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) eine Bearbeitungseinrichtung (102) zum Bearbeiten eines Zielbereichs (104) und/oder eine Untersuchungseinrichtung (132) zum Untersuchen eines Zielbereichs (104) an der Oberfläche der Probe (107), eine mechanische Trägerschnittstelle (106) als mechanische Referenz zum Tragen eines abnehmbar an der Trägerschnittstelle (106) anbringbaren Probenträgers (108) mit der Probe (107), und eine Datenquelle (110) zum Bereitstellen von Daten an besagte Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) oder an eine andere Bearbeitungs- und/oder Untersuchungsvorrichtung (100, 130) aufweist, welche Daten für eine Position des Zielbereichs (104) bezogen auf besagte mechanische Referenz indikativ sind. The invention relates to a processing and/or inspection apparatus (100, 130) for processing and/or inspecting a surface of a specimen (107), wherein the processing and/or inspection apparatus (100, 130) comprises a processing device (102) for processing a target zone (104) and/or an inspection device (132) for inspecting a target zone (104) on the surface of the specimen (107), a mechanical support interface (106) as a mechanical reference for supporting a specimen carrier (108), which can be removably mounted on the support interface (106) with the specimen (107), and a data source (110) for providing data to said processing and/or inspection apparatus (100, 130), or to another processing and/or inspection apparatus (100, 130), which data is indicative for a position of the target zone (104) relative to said mechanical reference.