OXYGEN PERMEABLE ELEMENT AND SPUTTERING TARGET MATERIAL
An oxygen permeable element (10) includes an anode (13), a cathode (12), and a solid electrolyte (11). With a voltage applied between the anode (13) and the cathode (12), oxygen gas in the cathode side atmosphere is allowed to pass through the solid electrolyte (11) to the anode side. The oxygen per...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!