VACUUM PUMP
Eine Vakuumpumpe, bei der es sich beispielsweise um eine Wälzkolbenpumpe oder eine Schraubenpumpe handelt, umfasst pumpaktive Elemente, die zu einer Arbeitsbewegung antreibbar sind und ein zu pumpendes Gas von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe transportieren, einen Schwingungssensor, de...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Eine Vakuumpumpe, bei der es sich beispielsweise um eine Wälzkolbenpumpe oder eine Schraubenpumpe handelt, umfasst pumpaktive Elemente, die zu einer Arbeitsbewegung antreibbar sind und ein zu pumpendes Gas von einem Einlass zu einem Auslass der Vakuumpumpe transportieren, einen Schwingungssensor, der Schwingungsdaten der Vakuumpumpe aufgrund der Arbeitsbewegung der pumpaktiven Elemente erfasst, und eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist, um die Schwingungsdaten auszuwerten. |
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