MICRODEVICE WITH A PLURALITY OF MOBILE ELEMENTS ARRANGED WITHIN A PLURALITY OF INTERLOCKING CAVITIES
Micro-dispositif (100) comportant : - un substrat, - un élément fixe (102) solidaire du substrat, - un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe, - un deuxième élément mobile (108) suspen...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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creator | BERTHELOT, Audrey COLIN, Mikaël |
description | Micro-dispositif (100) comportant :
- un substrat,
- un élément fixe (102) solidaire du substrat,
- un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe,
- un deuxième élément mobile (108) suspendu au premier élément mobile par des deuxièmes éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport au premier élément mobile et à l'élément fixe,
- une première cavité (116) dont au moins une partie des parois est formée par l'élément fixe et dans laquelle est encapsulé le premier élément mobile,
- une deuxième cavité (120) disposée au sein de la première cavité, dont au moins une partie des parois est formée par le premier élément mobile, dans laquelle est encapsulé le deuxième élément mobile et qui est isolée de la première cavité. |
format | Patent |
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- un substrat,
- un élément fixe (102) solidaire du substrat,
- un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe,
- un deuxième élément mobile (108) suspendu au premier élément mobile par des deuxièmes éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport au premier élément mobile et à l'élément fixe,
- une première cavité (116) dont au moins une partie des parois est formée par l'élément fixe et dans laquelle est encapsulé le premier élément mobile,
- une deuxième cavité (120) disposée au sein de la première cavité, dont au moins une partie des parois est formée par le premier élément mobile, dans laquelle est encapsulé le deuxième élément mobile et qui est isolée de la première cavité.</description><language>eng ; fre ; ger</language><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2018</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20180919&DB=EPODOC&CC=EP&NR=3375753A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20180919&DB=EPODOC&CC=EP&NR=3375753A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>BERTHELOT, Audrey</creatorcontrib><creatorcontrib>COLIN, Mikaël</creatorcontrib><title>MICRODEVICE WITH A PLURALITY OF MOBILE ELEMENTS ARRANGED WITHIN A PLURALITY OF INTERLOCKING CAVITIES</title><description>Micro-dispositif (100) comportant :
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- un élément fixe (102) solidaire du substrat,
- un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe,
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- un substrat,
- un élément fixe (102) solidaire du substrat,
- un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe,
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