MICRODEVICE WITH A PLURALITY OF MOBILE ELEMENTS ARRANGED WITHIN A PLURALITY OF INTERLOCKING CAVITIES

Micro-dispositif (100) comportant : - un substrat, - un élément fixe (102) solidaire du substrat, - un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe, - un deuxième élément mobile (108) suspen...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BERTHELOT, Audrey, COLIN, Mikaël
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Micro-dispositif (100) comportant : - un substrat, - un élément fixe (102) solidaire du substrat, - un premier élément mobile (104) suspendu à l'élément fixe par des premiers éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport à l'élément fixe, - un deuxième élément mobile (108) suspendu au premier élément mobile par des deuxièmes éléments de maintien, et apte à se déplacer par rapport au premier élément mobile et à l'élément fixe, - une première cavité (116) dont au moins une partie des parois est formée par l'élément fixe et dans laquelle est encapsulé le premier élément mobile, - une deuxième cavité (120) disposée au sein de la première cavité, dont au moins une partie des parois est formée par le premier élément mobile, dans laquelle est encapsulé le deuxième élément mobile et qui est isolée de la première cavité.