X-RAY FLUORESCENCE ANALYZER AND X-RAY FLUORESCENCE ANALYZING METHOD

An X-ray fluorescence analyzer includes: a sample stage; an X-ray source; a detector; an X stage; a Y stage; a ¸ stage; and a shielding container, wherein the irradiation position with primary X-rays is set at an offset position from a movement center of the X stage and the Y stage, wherein an irrad...

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1. Verfasser: TAKAHARA, TOSHIYUKI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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