DEVICE FOR PRODUCING A DEPOSIT OF PARTICLES ON A SUBSTRATE AND DEPOSITING METHOD USING SUCH A DEVICE

Dispositif (10) de dépôt de particules par voie liquide, comprenant: - une première chambre (11), - une deuxième chambre (12), - un orifice de communication entre la première chambre (11) et la deuxième chambre (12), et - un évent prévu dans la deuxième chambre et mettant en communication la deuxièm...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PICARD, EMMANUEL, PEYRADE, DAVID, ZELSMANN, MARC, CORDEIRO, JULIEN, BERTON, KÉVIN
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dispositif (10) de dépôt de particules par voie liquide, comprenant: - une première chambre (11), - une deuxième chambre (12), - un orifice de communication entre la première chambre (11) et la deuxième chambre (12), et - un évent prévu dans la deuxième chambre et mettant en communication la deuxième chambre et un milieu (200) extérieur au dispositif. Device (10) for depositing particles via the liquid route including a first chamber a second chamber (12), a communication hole between the first chamber (11) and the second chamber (12), and a vent which is provided in the second chamber and which places the second chamber and a medium (200) which is external with respect to the device in communication.