Method and device for measuring the deflection of light beams by an object structure or a medium

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium, bei dem ein Oberflächenbereich eines Objekts oder ein Bereich des Mediums (8) mit wenigstens einem optischen Muster beleucht...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	TOBISCH, ALEXANDER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ortsaufgelösten Bestimmung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium, bei dem ein Oberflächenbereich eines Objekts oder ein Bereich des Mediums (8) mit wenigstens einem optischen Muster beleuchtet wird und an dem Oberflächenbereich reflektierte oder durch den Oberflächenbereich oder den Bereich des Mediums (8) hindurchgetretene Beleuchtungsstrahlen mit einem ortsauflösenden optischen Detektor (12) erfasst werden. Bei dem Verfahren wird das optische Muster in eine Ebene (7) scharf abgebildet, die in Beleuchtungs-richtung in einem Abstand vor oder hinter dem Oberflächenbereich oder dem Bereich des Mediums (8) liegt.