Clean room system

The clean room system (10) has an air conditioning unit (12), a pressurizing unit (14), a sensor unit (16) that measures clean room parameter, and a control unit (18) that receives the values measured by the sensor unit. The control unit controls and/or regulates the air-conditioning unit and the pr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHILLING, GUENTHER, SPITZNAGEL, DIETMAR, SCHMITT, DIETMAR
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The clean room system (10) has an air conditioning unit (12), a pressurizing unit (14), a sensor unit (16) that measures clean room parameter, and a control unit (18) that receives the values measured by the sensor unit. The control unit controls and/or regulates the air-conditioning unit and the pressurizing unit jointly. The control unit is provided for recording portion of the values measured by the sensor unit. A user interface unit (20) is connected to the control unit in operating mode. Independent claims are included for the following: (1) a control unit of clean room system; and (2) a method for operating clean room system. Die Erfindung betrifft ein Reinraumsystem (10) mit zumindest einer Klimaeinheit (12), zumindest einer Druckbeaufschlagungseinheit (14), zumindest einer Sensoreinheit (16), die dazu vorgesehen ist, zumindest Reinraumparameter zu messen, und einer Steuereinheit (18), die zumindest Messwerte von der zumindest einen Sensoreinheit (16) erhält. Erfindungsgemäß werden zumindest die Klimaeinheit (12) und die Druckbeaufschlagungseinheit (14) gemeinsam von der Steuereinheit (18) gesteuert und/oder geregelt.