FLOW SENSOR

The flow sensor has a sensor element (2) connected with a fixed, electrical conductive carrier part over electrical conductive connections. The sensor element comprises a plate-like carrier substrate on which a temperature sensor and a heating element are arranged. A stable encapsulation (3) partially surrounds the sensor element and the carrier part in a form-fit manner. Regions on an upper side and a lower side of the sensor element are not covered by the encapsulation and circulated by a to-be measured stream (S). The encapsulation is formed of filled epoxy material. The electrical conductive connections are formed as bond connections. The carrier substrate is made of glass, zirconium oxide and low temperature cofired ceramics. Es wird ein Strömungssensor zur direkten Messung von Massenströmungen angegeben. Dieser umfasst ein starres, elektrisch leitfähiges Trägerteil sowie ein Sensorelement, welches über elektrisch leitende Verbindungen mit dem Trägerteil verbunden ist. Das Sensorelement weist ein plattenförmiges Trägersubstrat auf, auf dem mindestens ein Temperatursensor und ein Heizelement angeordnet sind. Ferner ist eine stabile Umkapselung vorgesehen, die das Sensorelement und das Trägerteil teilweise formschlüssig umgibt, wobei Bereiche auf der Ober- und Unterseite des Sensorelements nicht von der Umkapselung bedeckt und von der zu messenden Strömung ungehindert umströmbar sind ( Figur 2 ).