2-D MEMS TRIBOMETER WITH COMB DRIVES

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ODEN, WARREN, OH, YUNJE, SYED ASIF, SYED AMANULA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM] INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES MEASURING NANOTECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES TESTING TRANSPORTING
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