A MAGNETIC BEARING, A ROTARY STAGE, AND A REFLECTIVE ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BUSTRAAN, KRIJN, F, SAHIN NOMALER, FUNDA, SEIJGER, OLAV, J, POST, JUSTUS, B
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BEARINGS BLASTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS FLEXIBLE SHAFTS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS SHAFTS THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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