METHOD FOR INTERFEROMETRIC DETECTION OF SURFACES

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KASSAMAKOV, IVAN, HANHIJAERVI, KALLE, AALTONEN, JUHA, SAARIKKO, HEIMO, HAEGGSTROEM, EDWARD
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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