Method for discontinuous refilling of a selenium evaporation chamber
The method for discontinuously refilling a selenium evaporation chamber, comprises filling a metering container (2) in a prechamber (1) with selenium (14) over a lockable opening (13), closing the lockable opening after filling the metering container, generating a vacuum, liquefying the selenium ove...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | The method for discontinuously refilling a selenium evaporation chamber, comprises filling a metering container (2) in a prechamber (1) with selenium (14) over a lockable opening (13), closing the lockable opening after filling the metering container, generating a vacuum, liquefying the selenium over a heater (5), opening a heated vacuum slide between the prechamber and a heated casting chamber, where the metering container is pushed into the casting chamber, and transferring the selenium into a heated funnel by rotating or opening the metering container. The method for discontinuously refilling a selenium evaporation chamber, comprises filling a metering container (2) in a prechamber (1) with selenium (14) over a lockable opening (13), closing the lockable opening after filling the metering container, generating a vacuum, liquefying the selenium over a heater (5), opening a heated vacuum slide between the prechamber and a heated casting chamber, where the metering container is pushed into the casting chamber, transferring the selenium into a heated funnel by rotating or opening the metering container, opening a heated vacuum slide between the casting chamber and a heated evaporation chamber, and transferring the selenium from the funnel into a selenium evaporator over a funnel in the evaporation chamber. The prechamber and/or the casting chamber are heated at 150-250[deg] C. The prechamber, the casting chamber and/or the evaporator chamber are evacuated at less than 10 -> 3>bar. The evaporation chamber is heated at 200-250[deg] C. An independent claim is included for a device for discontinuously refilling a selenium evaporation chamber.
Verfahren zum diskontinuierlichen Nachfüllen einer Selenverdampferkammer (9), wobei:
a. ein Dosierbehälter (2) in einer Vorkammer (1) über eine verschließbare Öffnung (13) mit Selen (14) befüllt wird, nach Befüllen des Dosierbehälters (2), die verschließbare Öffnung (13) geschlossen wird und ein Vakuum erzeugt wird und das Selen (14) über einer Heizung (5) verflüssigt wird,
b. ein beheizter Vakuumschieber (6) zwischen der Vorkammer (1) und einer beheizten Gießkammer (7) geöffnet wird, der Dosierbehälter (2) in die Gießkammer (7) geschoben wird und das Selen (14) durch Drehen oder Öffnen vom Dosierbehälter (2) in einen beheizten Trichter (8) überführt wird und wobei
c. ein beheizter Vakuumschieber (12) zwischen der Gießkammer (7) und einer beheizten Verdampferkammer (9) geöffnet wird und das Selen (14) aus dem Trichter (8) |
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