METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATMENT OF A FLAT SUBSTRATE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GEISLER, MICHAEL, SIEMERS, MICHAEL, ZEUNER, ARNDT, PFLUG, ANDREAS, FIEDLER, MARKS, GRABOSCH, GUENTER, CZARNETZKI, UWE, BRINKMANN, RALF-PETER, BECKMANN, RUDOLF
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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