METHOD FOR DETERMINING AN OVERALL LEAKAGE RATE OF A VACUUM SYSTEM AND VACUUM SYSTEM

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	EHRENSPERGER, DAMIAN, WALTER, GERHARD WILHELM, PALTEN, THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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