Method for producing a substrate with a coloured interference filter coating, this substrate, interference filter coating, the use of this substrate as coloured solar cell or as coloured solar cell or as component of same and an array comprising at least two of thee substrates

The method involves depositing six coating layers in gas phase, and forming polycrystalline metal oxides, where average thickness of each coating layer in about 90-210 nm. Average percentage of atomic components of metal present in the coating layers is deviated from average percentage composition of metal by not more than +/-5 percent of atoms. A planar, metal or metal oxide target is housed on a front side of magnetron of a magnetic system, and an interference filter layer is assigned with the coating layers. An independent claim is also included for a substrate comprising a colored, light-transmitted polycrystalline metal oxide layer. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats mit einer farbigen Interferenzfilterschicht, enthaltend polykristallines Metalloxid oder polykristalline Metalloxide, durch, insbesondere physikalische oder chemische, Gasphasenabscheidung mit einer Beschichtungsanlage, insbesondere mit Hilfe eines Sputtergases, bei dem man aus der Gasphase mindestens zwei, insbesondere mindestens sechs, Beschichtungslagen jeweils unter Ausbildung von polykristallinen Metalloxiden abscheidet mit einer durchschnittlichen Dicke der jeweiligen Beschichtungslagen im Bereich von etwa 50 nm bis 350 nm, insbesondere im Bereich von etwa 90 nm bis 210 nm, wobei die gemittelten atomaren Anteile mindestens eines, insbesondere jedes einzelnen, der in jeweils mindestens zwei, insbesondere sämtlichen, Beschichtungslagen, enthaltenen Metalle um nicht mehr als +/-20 Atom-%, vorzugsweise um nicht mehr als +/-10 Atom-% und besonders bevorzugt um nicht mehr als +/-5 Atom-%, von der gemittelten Zusammensetzung der Interferenzfilterschicht abweichen, wobei 100 Atom-% die Summe aller in der Schicht enthaltenen Metalle bezeichnet. Des weiteren betrifft die Erfindung ein nach diesem Verfahren erhältliches farbiges Substrat sowie ein Array, enthaltend eine Vielzahl an solchen Substraten.