METHOD OF MANUFACTURING LOCALIZED SEMICONDUCTOR-ON-INSULATOR (SOI) STRUCTURES IN A BULK SEMICONDUCTOR WAFER

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	MULLER, MARKUS, GERHARD, ANDREAS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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