CVD COATING SCHEME INCLUDING ALUMINA AND/OR TITANIUM-CONTAINING MATERIALS AND METHOD OF MAKING THE SAME

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MCNERNY, CHARLES, G, GATES, ALFRED, S., JR, LEICHT, PETER, R, MEHROTRA, PANKAJ, K
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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