DISCRETE POLARIZATION STATE ROTATABLE COMPENSATOR SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER SYSTEM, AND METHOD OF CALIBRATION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GREEN, STEVEN E, JOHS, BLAINE D, HERZINGER, CRAIG M, HALE, JEFFREY S
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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