Method for reducing and homogenising the thickness of a semiconductor layer on the surface of an electrically insulating material

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FEIJOO, DIEGO, WAHLICH, REINHOLD, RIEMENSCHNEIDER, OLIVER
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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