Power Supply for Medium Frequency Plasma Generator

The power generator (1) for a plasma process has a DC current supply (2) with an inverter (6) connected to it. The switching elements are connected to a current supply potential of a polarity, and an output network (7). A decoupling circuit is provided for each switching element to decouple them by...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	RICHTER, VOLKHARD
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC,OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWERSUPPLY SYSTEMS CONTROL OR REGULATION THEREOF CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUTPOWER CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER ELECTRICITY GENERATION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The power generator (1) for a plasma process has a DC current supply (2) with an inverter (6) connected to it. The switching elements are connected to a current supply potential of a polarity, and an output network (7). A decoupling circuit is provided for each switching element to decouple them by a potential of the output network. . Bei einem MF-Plasmaleistungsgenerator (1) für einen Plasmaprozess mit einer DC-Stromversorgung (2), einem daran angeschlossenen Inverter (6), der zumindest ein an ein Stromversorgungspotential erster Polarität (11) angeschlossenes schaltendes Element (101, 102) aufweist, und einem Ausgangsnetzwerk (7), ist für jedes schaltende Element (101, 102) eine Entkoppelschaltung zur Entkopplung des schaltenden Elements (101, 102) von einer Spannung des Ausgangsnetzwerks (7) vorgesehen. Dadurch können die schaltenden Elemente (101, 102) verlustarm geschaltet werden.