FABRICATION OF A FERROMAGNETIC INDUCTOR CORE AND CAPACITOR ELECTRODE IN A SINGLE PHOTO MASK STEP

An integrated circuit capacitor having a bottom plate 50 a, a dielectric layer 250 ', and a ferromagnetic top plate 20 a.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BRENNAN, KENNETH, D, RAO, SATYAVOLU, S., PAPA
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:An integrated circuit capacitor having a bottom plate 50 a, a dielectric layer 250 ', and a ferromagnetic top plate 20 a.