Microsystem including a stopping device
The system (2) has a ferromagnetic membrane (20) mounted on a substrate (3) and with an electrical contact (21). The membrane is moved between an open position and a closed position of an electrical circuit, where the open position is delimited by a stop device arranged near a rotational axis (P) of...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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Zusammenfassung: | The system (2) has a ferromagnetic membrane (20) mounted on a substrate (3) and with an electrical contact (21). The membrane is moved between an open position and a closed position of an electrical circuit, where the open position is delimited by a stop device arranged near a rotational axis (P) of the membrane. The stop device has metal detection electrodes (4a, 4b) contacting the membrane in open position for passing an electric current into an electrical detection circuit. The detection circuit detects whether the membrane is in the open position.
La présente invention concerne un microsystème (2, 2') comportant un substrat (3) et un élément mobile (20, 20') monté sur le substrat (3), ledit élément mobile (20, 20') étant doté d'au moins un contact électrique (21, 21') et étant piloté par exemple par effet magnétique entre au moins deux positions, une position de fermeture d'un circuit électrique et une position d'ouverture du circuit électrique. La position d'ouverture de l'élément mobile est délimitée par un dispositif d'arrêt (4a, 4b, 5a, 5b, 5) de la course de l'élément mobile (20, 20'), raccordé à un circuit électrique de détection (D) et comportant des moyens de détection (41, 51) aptes à déterminer si l'élément mobile (20, 20') est dans la position d'ouverture. |
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