METHOD AND APPARATUS FOR THIN FILM METROLOGY

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FAICHNIE, DAVID, GREENAWAY. ALAN, H, BAIN, IAN, KARSTAD, KETIL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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