Vacuum treating apparatus with variable pumping arrangement

A continually operated architectural glass coating assembly has a vacuum chamber (1) or series of chambers (2-8) linked to one or more evacuation pumps (21). Each chamber has a cover lid (20, 30) linked to the evacuation pump and forming a raised upper chamber (28). Vakuumbehandlungsanlage, insbeson...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SAUER, ANDREAS, ROEDLING, GERT
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BLASTING CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GLASS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PLASMA TECHNIQUE POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS PUMPS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS SEPARATION SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS SURFACE TREATMENT OF GLASS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A continually operated architectural glass coating assembly has a vacuum chamber (1) or series of chambers (2-8) linked to one or more evacuation pumps (21). Each chamber has a cover lid (20, 30) linked to the evacuation pump and forming a raised upper chamber (28). Vakuumbehandlungsanlage, insbesondere Beschichtungsanlage für die kontinuierliche Beschichtung durchlaufender, plattenartiger Substrate, vorzugsweise Glasbeschichtungsanlage mit mindestens einer, vorzugsweise mehreren hintereinander angeordneten Vakuumkammern (1) oder Kammerbereichen (2 bis 8, 17), die über mindestens eine, vorzugsweise mehrere Pumpeinrichtungen (21) abgepumpt werden, wobei mindestens eine Kammer oder ein Kammerbereich an der Kammeroberseite einen Deckel (20, 30) aufweist, an dem mindestens eine Pumpeinrichtung angeordnet ist und wobei der Deckel so ausgebildet ist, dass er einen Deckelraum (28) bildet und mit dem Deckelraum über die Kammer oder den Kammerbereichen übersteht.