Ellipsometric method with correction via image registration

The method involves acquiring successive images each representing at least part of an object under different ellipsometrically relevant conditions, storing in a digital memory unit and processing according to defined rules to produce a resulting image or value. It involves defining a region of interest or ROI in a reference image using imago information parameters and determining its position and/or shape in first and second single images, correcting the second image so that the positions and/or shapes of the ROIs coincide in the two images and processing corresponding image points and/or regions to produce the resulting image. Bildgebendes, ellipsometrisches Messverfahren, bei dem nacheinander eine Mehrzahl von Einzelbildern, die jeweils wenigstens einen Teil eines Objektes repräsentieren, mittels eines bildgebenden Detektors unter unterschiedlichen, ellipsometrisch relevanten Aufnahmebedingungen aufgenommen (102, 108), in einer digitalen Speichereinheit wenigstens temporär gespeichert und wenigstens ausschnittweise nach vorgegebenen Regeln miteinander zur Erzeugung eines Ergebnisbildes oder -wertes verrechnet (126) werden, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Referenzbild anhand von Bildinformationsparametern eine Interessenregion ROI definiert und ihre Position und / oder Form in einem ersten Einzelbild ermittelt wird (104), in einem zweiten Einzelbild die Position und / oder Form der ROI anhand der gleichen Bildinformationsparameter ermittelt wird (112), das zweite Einzelbild durch Translation, Rotation, Stauchung und / oder Streckung wenigstens ausschnittweise derart korrigiert wird (122), dass die Position und / oder Form der ROI in dem zweiten Einzelbild mit der Position und / oder Form der ROI in dem ersten Einzelbild übereinstimmt, und korrespondierende Bildpunkte oder -bereiche der positions- und / oder formkorrigierten Einzelbilder miteinander zur Erzeugung des Ergebnisbildes oder -wertes verrechnet werden (126).