ETCHING PROCESS FOR MICROMACHINING CRYSTALLINE MATERIALS AND DEVICES FABRICATED THEREBY

An optical microbench structure with etch stop pits (16).

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: STEINBERG, DAN, A, RASNAKE, LARRY, J
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:An optical microbench structure with etch stop pits (16).