ETCHING PROCESS FOR MICROMACHINING CRYSTALLINE MATERIALS AND DEVICES FABRICATED THEREBY
An optical microbench structure with etch stop pits (16).
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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Zusammenfassung: | An optical microbench structure with etch stop pits (16). |
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