Easy to remove hard mask layer for semiconductor device fabrication

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KOTECKI, DAVID, ATHAVALE, SATISH D, LIAN, JENNY, SHEN, HUA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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