ELECTRON BEAM PHYSICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LAGEMANN, CHRISTOPHER, LEE, WORTMAN, DAVID, JOHN, BETSCHER, KEITH, HUMPHRIES, EVANS, JOHN, DOUGLAS, SR, MARICOCCHI, ANTONIO, FRANK, VIGUIE, RUDOLFO, WILLEN, WILLIAM, SETH, BRUCE, ROBERT, WILLIAM, RIGNEY, DAVID, VINCENT
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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