DRY-ETCHING OF INDIUM AND TIN OXIDES

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CHEN, JIE, KOLLRACK, MARC, MICHAEL, WU, TZYUNG, GOTO, HARUHIRO, WONG, YUEN-KUI, WANG, KAI-AN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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