Trench capacitor with insulationcollar and corresponding fabrication process

Die vorliegende Erfindung schafft einen Grabenkondensator (160), der in einer Speicherzelle (100) verwendet werden kann. Der Grabenkondensator (160) ist in einem Substrat (101) gebildet und besteht aus einem Graben (108) mit einem oberen Bereich (109) und einem unteren Bereich (111); einem Isolationskragen (168), der in dem oberen Bereich (109) des Grabens (108) gebildet ist; einer vergrabenen Wanne (170), die von dem unteren Bereich (111) des Grabens (108) durchsetzt ist; einer vergrabenen Platte (165), als äußere Kondensatorelektrode, die um den unteren Bereich (111) des Grabens (108) gebildet ist; einer dielektrischen Schicht (164), als Kondensatordielektrikum, zur Verkleidung des unteren Bereichs (111) des Grabens (108) und des Isolationskragens (168); einer leitenden Grabenfüllung (161), welche in den Graben (108) gefüllt ist und die innere Kondensatorelektrode bildet; einem vergrabenen Kontakt (250), der in dem Substrat (101) gebildet ist; wobei der vergrabene Kontakt (250) durch Implantation, Plasmadotierung und/oder Gasphasendotierung eingebracht wurde. Vorzugsweise wird an der Grenzfläche (201) des vergrabenen Kontakts (250) eine Tunnelschicht (205), z. B. aus Oxid-, Nitrid- oder Oxynitrid gebildet. A trench capacitor with an insulating collar (168) has a buried contact (250) formed by implantation, plasma doping and/or gas phase doping. A trench capacitor comprises a trench (108) which has an insulating collar (168) and which passes at least partially through a buried well (170), a buried outer capacitor plate (165) formed around the lower portion (111) of the trench, a capacitor dielectric layer (164) covering the lower portion of the trench and the collar, and a conductive trench filling (161). The novelty is that the substrate (101) has a buried contact (250) formed by dopant implantation, plasma doping and/or gas phase doping. An Independent claim is also included for production of the above trench capacitor.