Trench capacitor with insulating collar and buried contact and corresponding manufacturing process

Die vorliegende Erfindung schafft einen Grabenkondensator, insbesondere zur Verwendung in einer Halbleiter-Speicherzelle (100), mit einem Isolationskragen (168) mit einem Graben (108), der in einem Substrat (101) gebildet ist; dem Isolationskragen (168), der im oberen Bereich des Grabens (108) gebil...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DEQUIEDT, ODILE, MORHARD, KLAUS-DIETER, LAMPRECHT, ALEXANDRA, WURSTER, KAI, SCHREMS, MARTIN, FAUL, JUERGEN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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