Micromechanical moving device for deflecting light beams and method of fabrication thereof

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	WOLLMANN, UDO, RAUCH, MANFRED, LOEWE, HEINZ-ULRICH, MARKERT, JOACHIM, GESSNER, THOMAS, DOETZEL, WOLFRAM, HAHN, RAMON, KAUFMANN, CHRISTIAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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