Apparatus for handling wafer like objects

Bei einer Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten besteht die Aufgabe, bei erhöhter Produktivität und frei wählbaren Transportwegen, mit geringem mechanischen Aufwand unter SMIF-Bedingungen ein hohes Maß an Positioniergenauigkeit zu gewährleisten. Die Einrichtung weist mindestens ei...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHULTZ, KLAUS, BECKERT, HARALD, LAHNE, BERNDT, HEINZE, MANFRED
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONVEYING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!