Apparatus for handling wafer like objects

Bei einer Einrichtung zur Handhabung von scheibenförmigen Objekten besteht die Aufgabe, bei erhöhter Produktivität und frei wählbaren Transportwegen, mit geringem mechanischen Aufwand unter SMIF-Bedingungen ein hohes Maß an Positioniergenauigkeit zu gewährleisten. Die Einrichtung weist mindestens eine Indexeinrichtung zur Bereitstellung und Entgegennahme der Objekte an einem, in einer Handhabungsebene gelegenen Bereitstellungs- und Entgegennahmeort und mindestens eine Transporteinrichtung zum Transport der scheibenförmigen Objekte zwischen dem Ort der Bereitstellung und Entgegennahme und der Arbeitsstation auf Erfindungsgemäß ist die Arbeitsstation gemeinsam mit mindestens einer weiteren Arbeitsstation im wesentlichen koaxial zu einem Zentrum angeordnet, durch das eine Drehachse eines Wechslers verläuft. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise anwendbar. The arrangement has at least one transport device for transporting the objects in a manipulation plane between a preparation and acceptance site to a processing station arranged, in common with a further processing station, coaxially wrt. a centre forming the rotation axis of a central axle of a changeover device. The central axle of the changeover device (11)is enclosed by a fixed toothed rod (56) which is engaged in at least one desired position by the gripping elements (57,58) of a parallel gripping device (59) for reproducible positioning of the changing arms (16-18) of the changeover device. The gripping elements are in the form of toothed rod sections (54,55).