Sputtering target and method for its manufacturing

Es sind Targets für die Kathodenzerstäubung auf Basis von heißgepreßtem oder isostatisch heißgepreßtem Indiumoxid/Zinnoxid-Pulver mit einer Dichte von mindestens 95 % der theoretischen Dichte und mit einem unterstöchiometrischen Sauerstoffgehalt bekannt. Um hiervon ausgehend ein Target anzugeben, das sich durch hohe Festigkeit und gleichzeitig hoher Sputterrate auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß das Target eine Kristallphase aufweist, die mit einem Gewichtsanteil von mindestens 90 %, vorzugsweise mindestens 97 % als Mischkristall von Indiumoxid und Zinnoxid ausgebildet ist, und die eine mittlere Korngröße zwischen 2 µm und 20 µm aufweist. Um ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines Targets aus einem Indiumoxid/Zinnoxid-Ausgangspulvers bereitzustellen, das eine definierte Einstellung des Sauerstoffgehaltes und eine homogene chemische Zusammensetzung über das gesamte Target-Volumen erlaubt, wird vorgeschlagen, ein durch Oxidation von fein verteiltem Indium-Zinn-Metall erzeugtes Ausgangspulver einzusetzen. The targets for cathodic sputtering according to this invention are formed of hot-pressed or hot isostatic-pressed indium oxide/tin oxide powder with a minimum density of 95% of the theoretical density and with a sub-stoichiometric oxygen content are known. In order to provide the improvement of high stability and, simultaneously, high sputtering rate, it is proposed according to the invention that the target have a crystalline phase which is formed as a solid solution of indium oxide and tin oxide with a minimum of 90% by weight, preferably a minimum of 97%, of the solid solution, and which has an average grain size ranging from 2 mu m to 20 mu m. In order to make available a simple and cost-efficient method for producing a target consisting of a starting powder of indium oxide/tin oxide, which allows for a precise setting of the oxygen content and a homogeneous chemical composition throughout the entire target volume, it is proposed that a starting powder be used that is produced by oxidizing finely distributed indium tin metal.