Device for fixing micro-optical components

The retention device has a carrier plate (7) with a recess (1) in its surface, for reception of the microelectronic component, e.g. an optical fibre (2), with an associated bridge structure (3,4) for holding it in place. The microelectronic component is displaced after insertion in the recess, up to the edge (5) of the latter, so that it fits under the bridge structure. Pref. the bridge structure is provided by at least one layer applied to the surface of the carrier plate, the carrier plate pref. formed of silicon and the applied layer of a nitride. Vorrichtungen zum Halten einer mikrooptischen Komponente, z.B. einer optischen Faser (2), wobei die Vorrichtung eine Trägerplatte (7) aufweist, bei der auf einer Oberfläche eine Vertiefung (1) vorgesehen ist, in die die Faser (2) einlegbar ist, sind bekannt. Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine weitere Vorrichtung dieser Art anzugeben, durch die die mikrooptische Komponente gehalten wird. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist eine über die Vertiefung (1) überstehende Struktur, z.B. eine Brückenstruktur (3, 4), vorgesehen, die die Faser (2) hält. Die Faser (2) ist unter der Brückenstruktur (3, 4) durchschiebbar bis an den Rand (5) der Vertiefung (1). Die Brückenstruktur (3, 4) ist z.B. durch eine lokale Erhöhung der lateralen Unterätzung herstellbar. Anwendungen ergeben sich z.B. für die Ankopplung einer Glasfaser an eine optoelektrische Schaltung.