VERTICAL MICROELECTRONIC FIELD EMISSION DEVICES AND METHODS OF MAKING SAME

Un émetteur (10) de champ microélectronique vertical comprend une partie supérieure conductrice (15) et une partie inférieure résistive (16) dans une colonne allongée (12) qui s'étend verticalement à partir d'un substrat horizontal (11). Une électrode émettrice (17) peut être formée à la b...

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Hauptverfasser: JONES, GARY, WAYNE, SUNE, CHING-TZONG
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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