VERTICAL MICROELECTRONIC FIELD EMISSION DEVICES AND METHODS OF MAKING SAME

Un émetteur (10) de champ microélectronique vertical comprend une partie supérieure conductrice (15) et une partie inférieure résistive (16) dans une colonne allongée (12) qui s'étend verticalement à partir d'un substrat horizontal (11). Une électrode émettrice (17) peut être formée à la base de la colonne, et une électrode d'extraction (18) peut être formée à proximité du sommet de la colonne. La colonne allongée réduit la capacité parasite de l'émetteur de champ micorélectronique afin de permettre un fonctionnement à grande vitesse, tout en produisant une résistance uniforme de colonne en colonne. L'émetteur de champ peut être formé tout d'abord par la formation de pointes (15) sur la face d'un substrat, puis de tranchées (22) dans le substrat (11) autour des pointes, de manière à former des colonnes (12) sur lesquelles reposent les pointes. Les tranchées sont remplies d'un diélectrique (19) et une couche conductrice (18) est formée sur le diélectrique. Selon une variante, des tranchées peuvent être formées dans la face du substrat (11) de façon à former des colonnes (12). Des pointes (15) sont ensuite produites au sommet des colonnes. Les tranchées sont remplies d'un diélectrique, et la couche conductrice est formée sur le diélectrique pour former les électrodes d'extraction.