METHOD OF MONITORING ATMOSPHERIC PRESSURE GLOW DISCHARGE PLASMA

The generation of glow plasma due to discharge at an atmospheric pressure and its stabilization are monitored by counting the number of current pulses. Alternatively, they are monitored by the change of a retention voltage and/or the change of the full current value besides the number of the current pulses, or by Lissajous figures, to detect the plasma state and to stabilize and control the plasma. These procedures make it possible to stabilize and monitor the atmospheric pressure glow discharge plasma accurately, rapidly and readily, and to control the plasma. On contrôle la production de plasma luminescent provenant d'une décharge à pression atmosphérique et sa stabilisation en comptant le nombre d'impulsions de courant. Dans une variante, cette production et sa stabilisation sont contrôlées par la modification d'une tension de maintien et/ou par la modification de la valeur de courant entière à côté du nombre des impulsions de courant, ou par des courbes de Lissajous, afin de détecter l'état du plasma et afin de stabiliser et de réguler le plasma. Ces techniques permettent de stabiliser et de contrôler du plasma de décharge luminescente à pression atmosphérique de façon précise, rapidement et aisément, et de réguler le plasma.