HIGH ACCURACY, HIGH FLEXIBILITY ENERGY BEAM MACHINING SYSTEM

Système permettant d'usiner avec une très grande précision des substrats au moyen d'un faisceau d'énergie. Le système comprend un système de commande d'un processus de signal numérique fonctionnant en temps réel et un système de commande par déviation, sur une zone prédéterminée du substrat, agissant sur l'angle suivant lequel le faisceau doit usiner le substrat. Dans un mode d'exécution préféré, on utilise un faisceau d'électrons dans une chambre à vide. Le système comprend également une table à coordonnées x-y qui sert à positionner le substrat, et qui peut assurer la détection de la position x-y ainsi que le mauvais alignement angulaire du substrat. Pour produire un faisceau uniforme dans la zone, on peut utiliser des formes dynamiques et un réglage par stigmateur. Ce système offre un procédé d'usinage très rapide qui permet d'optimiser la production globale ainsi obtenue, en minimisant le temps de réglage du système de déviation. A high precision system for machining substrates by means of an energy beam includes real time digital signal processor control and a deflection system providing control, within a predetermined field of the substrate, of the angle at which the beam machines the substrate. An electron beam is used in a vacuum chamber in a preferred embodiment. The system also includes an x-y table for positioning the substrate and may have provision for detecting the x-y position and angular misregistration of the substrate. Dynamic forms and stigmator control may be used to produce a uniform beam within the field. The system allows a high speed vector machining process, which optimizes the overall system throughput by minimizing the settling time of the deflection system.