Apparatus for the reduction of deformation of the exterior walls of vacuum chambers

Vorrichtung zur Reduzierung der Durchbiegung von im wesentlichen ebenen Außenwänden (3, 13) an einem Vakuumkessel (1) unter Betriebsbedingungen und zur Vermeidung von daraus resultierenden Verschiebungen von, an diesen Außenwänden (3, 13) befestigten Bauelementen, wie beispielsweise Umlenkwalzen (7,...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHOENHERR, BERNHARD, PAWLAKOWITSCH, ANTON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION THEIR RELEVANT APPARATUS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Vorrichtung zur Reduzierung der Durchbiegung von im wesentlichen ebenen Außenwänden (3, 13) an einem Vakuumkessel (1) unter Betriebsbedingungen und zur Vermeidung von daraus resultierenden Verschiebungen von, an diesen Außenwänden (3, 13) befestigten Bauelementen, wie beispielsweise Umlenkwalzen (7, 8) einer gegenüber dem Vakuumkessel (1) beweglichen Wickelvorrichtung (2) in einer Vakuum-Bandbeschichtungsanlage, wobei Distanzstücke (12, 14) zwischen zwei gegenüberliegenden Außenwänden (3, 13) vorgesehen sind.